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中国电子55纳米工艺嵌入式闪存智能卡芯片达国际领先水平

来源:规划发展局
2016-10-27
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目前,全球智能卡芯片市场需求巨大,竞争激烈,而当前国内主流智能卡工艺仍然停留在较低的130纳米水平,相比国际上主流的90纳米存在一定的差距。国内芯片公司为了更好参与国际竞争,必须提供更有竞争力的产品。

中国电子与国内半导体生产厂商进行战略合作,积极组织研发力量,合作开发基于55纳米工艺的智能卡芯片产品,取得了多项成就。一是将闪存生产工艺嵌入到55纳米逻辑工艺中,解决了嵌入式闪存工艺流程复杂和高深宽比沟槽隔离等难题,提升了存储器件电学特性和可靠性,擦写可靠性达25年/50万次。二是通过集成电路设计创新,提高了55纳米工艺智能卡芯片产品模拟电路系统的精度、鲁棒性和抗干扰性,保证了产品高良品率、高可靠性和大规模生产健壮性。三是通过工艺集成创新,成功实现了与55纳米纯逻辑工艺平台百分之百兼容,所有尺寸的逻辑核心器件和输入输出器件电学参数保持不变,实现逻辑工艺库和IP的复用。四是实现了可靠性测试方法创新,通过软件增强可靠性方法、圆片级可靠性测试和产品级可靠性测试等评价方法,保证了产品质量和一年半开发周期,确保产品快速上市。相关产品是全球智能卡领域第一个实现了大规模稳定量产的55纳米智能卡芯片产品,良品率稳定在97%以上。

该项目取得包括国际专利在内的发明专利10项,软件著作权1项,集成电路布图3项,带动了芯片制造、芯片测试与封装、模块封装与测试、成卡测试与封装等产业链上多个环节的自主快速发展,满足了国内4G通讯激增的换卡需求,具有显著的经济和社会效益。

附图:55纳米嵌入式闪存智能卡芯片

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